最新资讯 BAZ-I80 优异排气特性的闸阀 MIYUKI日本美幸辉

更新时间：2026-07-29

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发布时间

2026 年 7 月 29 日

我们谨通知您，我们已开始销售以下产品。

新产品

核心亮点：优异排气特性

蝶板采用专属导流优化结构，区别普通真空阀急促气流，该阀门从微开度微量进气到大开度大流量泄压，全程气流线性平缓稳定，支持分段阶梯式缓慢破除真空。可有效避免腔体压力瞬间骤升，杜绝镀膜膜层起皮、锂电池电解液喷溅、晶圆氧化产生针孔缺陷等各类工艺不良，适配各类需要梯度泄压的真空生产工序。

产品核心优势

绝对式传感器断电记忆，设备重启无需原点复位
内置独立绝对位置传感单元，设备断电停机后，自动保存阀门原点位置与全部预设工艺开度参数。设备再次上电无需执行原点复归程序，开机直接调取存储参数运行，大幅缩短产线重启、产品换型调试耗时，同时规避原点复位时高速气流冲击腔体内部工件。
电磁抱闸断电锁止，保护精密工件
伺服驱动机构集成电磁制动抱闸装置，突发停电、外部控制信号中断时，阀门会瞬间锁定当前设定开度，不会自动全开快速泄压，避免腔体压力剧烈波动损坏腔体内基板、电芯、晶圆等高价值精密工件。
电机直驱无背隙传动，开度控制精度稳定
电机与阀轴一体化直接连接，取消齿轮减速传动部件，消除传动回程间隙。极小开度下进气流量调节线性稳定，每一档设定开度均可机械自锁，长期量产工况下不会因传动部件磨损出现阀位漂移，保证批量生产工艺参数高度统一。
低发尘洁净构造，适配无尘真空产线
整机无外露金属滑动摩擦部件，设备运行过程粉尘产生量极低；不锈钢镜面抛光内腔，气体释放量低，出厂全程在无尘车间完成组装、检漏工序，光学镀膜、半导体、锂电池等高洁净真空生产环境使用要求。
多模式自动化控制，适配智能全自动产线
配套原厂 MS-PC 专用数字控制器，支持设备本地面板手动设定阀门开启角度，同时兼容上位 PLC 远程自动控制，支持 0-5V、0-10V 模拟电压信号以及 4-20mA 电流信号通讯，可联动真空机组搭建全自动分段泄压、腔体稳压整套自动化工艺系统。