最新资讯MIYUKI日本美幸辉氟橡胶O型圈控制真空阀 BAR-I200

更新时间：2026-07-29

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发布时间

2026 年 7 月 29 日

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新产品

产品概述

BAR-I200 属于美幸辉 BAR 系列大口径伺服真空阀，法兰规格 ISO-I200，公称通径 DN200，适配大型真空腔体。阀体密封采用氟橡胶 O 型圈，搭配伺服直驱无背隙驱动结构，内置绝对式位置传感器，断电记忆原点与多组工艺开度，可 0~100 开度 100 等分精准定位。流道经过优化，排气气流平稳线性，整机低释气、低发尘，适用于大型镀膜、锂电、光伏、大型工业真空炉等高洁净真空工况，需配套原厂 MS-PC 数字开度控制器使用。

核心规格参数

法兰标准：ISO-I200 大口径法兰，DN200 通径
适用压力区间：常压至 1×10⁻⁵Pa 高真空
泄漏指标：阀座内漏≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，阀杆外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，满足氦气检漏标准
阀体材质：介质接触面为 SUS304 镜面抛光不锈钢，，低气体析出
密封配置：标准氟橡胶 FKM O 型圈，耐真空、耐多数工艺有机气体；强腐蚀工况可更换 FFKM 全氟醚密封圈
耐温参数：阀体最高 150℃高温烘烤除气，伺服电机工作环境温度上限 40℃
驱动系统：DC24V 伺服电机直连阀轴，无齿轮传动间隙，全量程数字化定点开度调节
安装与运行：阀体无安装角度限制，立式、卧式、侧向均可安装；阀门启闭、流量调节运行噪音低

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