最新资讯 MIYUKI日本美幸辉具有指定开启角度的真空阀 BAZ-J50

更新时间：2026-07-29

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发布时间

2026 年 7 月 29 日

我们谨通知您，我们已开始销售以下产品。

新产品

产品概述

BAZ-J50 为美幸辉 BAZ 系列伺服控制真空蝶阀，法兰规格 ISO-J50，公称通径 DN50，需搭配原厂 MS-PC 数字开度控制器配套使用。产品核心特性为可自由设定任意阀门开启角度，搭配伺服电机直驱无间隙传动结构，内置绝对式位置传感器，断电记忆原点与多组工艺开度参数，流道经过优化，排气气流线性平稳，整体低发尘、超低泄漏，适配小型镀膜设备、实验室真空腔体、锂电小型真空工装等高洁净真空工况。

核心规格参数

法兰标准：ISO-J50，DN50 通径
适用压力范围：常压至 1×10⁻⁵Pa 高真空环境
泄漏标准：阀座内漏≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，阀杆外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，符合氦检标准
阀体材质：介质接触面 SUS304 镜面抛光不锈钢，低释气、低粉尘析出
密封配件：标配 FKM 氟橡胶密封圈，强腐蚀工艺可更换 FFKM 全氟醚密封件
耐温参数：阀体最高支持 150℃高温烘烤除气，伺服电机工作环境温度上限 40℃
驱动结构：DC24V 伺服电机直驱，无齿轮传动背隙，阀门 0~100 开度均分 100 档定点设定
安装条件：阀体无安装角度限制，立式、卧式、侧向均可装配，启闭调节运行噪音低

核心功能：任意开启角度定点设定

设备支持 0 至 100 区间内任意开度数值独立设定，可存储多套不同工艺对应的角度参数。生产换型时直接调取预设开度，无需现场反复调试阀门角度。伺服直驱结构保障设定角度精准锁定，长期量产过程中不会出现阀位漂移，微量进气、阶梯泄压的流量控制稳定性优异。

最新资讯 MIYUKI日本美幸辉 具有指定开启角度的真空阀 BAZ-J50

产品概述

核心规格参数

核心功能：任意开启角度定点设定

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