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最新资讯 MIYUKI日本美幸辉 电机直接驱动无反冲阀门 BAZ-C100 发布

更新时间:2026-07-29      浏览次数:4

发布时间

2026 年 7 月 29 日

我们谨通知您,我们已开始销售以下产品。

新产品

产品概述

BAZ-C100 属于美幸辉 BAZ 系列数字定点伺服真空蝶阀,型号中 C 代表 CF100 刀口金属密封法兰,100 为 DN100 公称通径,需配套原厂 MS-PC 数字开度控制器成套使用。核心采用伺服电机直接驱动结构,取消齿轮传动结构,实现零传动背隙,搭配绝对式位置传感器断电记忆原点,可实现 00~99 共 100 档精准开度锁止,CF 刀口法兰支持高温烘烤除气,超低泄漏、低发尘,适配大型高真空镀膜、半导体、锂电等高洁净工艺腔体。

核心规格参数

  1. 法兰规格:CF100 刀口金属密封法兰,DN100 通径

  2. 真空适用区间:常压 10⁵Pa 至高真空 1×10⁻⁵Pa

  3. 泄漏指标:阀体内漏≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s,阀杆轴封外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,满足氦检标准

  4. 阀体材质:阀体、蝶板接触面为 SUS304 镜面抛光不锈钢,低释气低粉尘析出

  5. 密封配置:标配 FKM 氟橡胶 O 型圈,腐蚀气体工况可选 FFKM 全氟醚密封件

  6. 耐温性能:阀体最高烘烤温度 150℃,伺服电机工作环境上限 40℃

  7. 驱动与控制:DC24V 供电,伺服电机直驱无齿轮间隙,100 等分数字开度调节;内置绝对式原点记忆传感器

  8. 安装特性:阀体无安装角度限制,立式、卧式、侧向均可安装,启闭全程低噪音运行


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