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最新资讯 MIYUKI日本美幸辉 绝对传感器存储真空阀 BAZ-I63

更新时间:2026-07-29      浏览次数:6

发布时间

2026 年 7 月 29 日

我们谨通知您,我们已开始销售以下产品。

新产品

产品概述

BAZ-I63 是美幸辉 BAZ 系列 ISO-F63 法兰伺服控制真空蝶阀,核心搭载绝对式位置传感器,断电后可存储阀门原点与开度参数,无需重启复归原点。阀体优化导流流道,具备线性平缓排气能力,整体低发尘、超低泄漏,适配半导体、光学镀膜、锂电池等高洁净高真空工艺,需搭配原厂 MS-PC 开度控制器成套使用,支持 0 至 100 区间 100 等分精准开度设定。

核心规格参数

  1. 法兰标准:ISO-F63,公称通径 63A

  2. 适用压力范围:标准大气压至 10⁻⁵Pa 高真空区间

  3. 泄漏标准:阀座内漏≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s,阀轴外部泄漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

  4. 阀体材质:介质接触区域为 SUS304 镜面不锈钢,低释气、不易析出杂质

  5. 密封件:氟橡胶密封环,耐受真空环境与多种工艺腐蚀气体

  6. 耐烘烤温度:阀体最高 150℃可高温烘烤除气,伺服电机工作环境上限 40℃

  7. 驱动系统:伺服电机直驱结构,无齿轮传动间隙,开度定位精准稳定

  8. 安装方式:阀体支持立式、卧式、侧向任意角度安装

  9. 运行特性:阀门调节、启闭全程低噪音运行


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