咨询电话
13717022388
products
产品分类
更新时间：2026-09-07 
浏览次数：18中高压精密闭环控制，响应迅速搭载温度补偿型压力传感单元，数字闭环算法，典型响应时间小于 1 秒，设定点控制精度可达±1% 设定值，压力收敛快，抑制超调，保障中高压工况压力稳定性与重复性MKS。
压力 + 流量二合一集成测控Baratron® 电容薄膜传感器实现高精度绝对压力测量；内置热式质量流量计实时读取质量流量，压力、流量数据同步输出，便于上位机做工艺分析、故障排查，简化气路系统搭建MKS。
高纯金属密封，耐工艺气体316L 不锈钢流道，10μinch 电解抛光处理，全金属密封，适配高纯工艺气体；润湿部件耐多种非腐蚀性工艺介质，洁净等级满足半导体工艺要求，长期漂移小MKS。
宽量程灵活选型
压力满量程：500 Torr、1000 Torr、2000 Torr、100 psia；支持 Torr/kPa/mbar/psi 多单位切换
流量量程：5~50000 sccm（N₂等效）
接口可选：4VCR 公头、1.125 英寸表面密封、1/4 英寸 Swagelok 接头等多种规格MKS
工业数字通讯，智能化运维支持 EtherCAT、DeviceNet、RS485 数字总线，可远程下发压力设定、读取压力、流量、阀位信息；内置本地嵌入式交互界面，可现场修改量程、单位，设备自诊断，方便整机集成与状态监控，提升产线稼动率MKS。
半导体设备中高压腔体下游压力闭环控制
薄膜工艺、等离子工艺、MEMS 制造压力 + 流量同步监测
光伏、显示面板工艺气体压力管控
科研真空、特种气体实验系统，工艺数据采集与故障诊断
需要同时监控腔体压力与实际气体流量的高纯气路系统
CONTACT
办公地址：深圳市龙华新区梅龙大道906号创业楼3楼TEL：0755-28578111
EMAIL：hy@tamasaki.com
扫码微信联系 0755-28578111
扫码加微信
返回顶部点
击
隐
藏
您的位置：
在线咨询
2853007793