最新资讯美国 MKS 10-60°C三区流量比控制器 DLT3B-DeviceNet

更新时间：2026-09-07

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发布时间

2026 年 9月 3 日

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新产品

美国 MKS 10-60°C三区流量比控制器 DLT3B-DeviceNet

产品简介

DLT3B‑DeviceNet属于MKS DELTA™ III系列三区流量比控制器，工作环境温度覆盖10‑60℃，搭载DeviceNet工业总线接口，实现单路进气分成三路独立输出。设备无需三路独立气源，接收一路混合工艺气体输入，按工艺配方设定比例自动分配至三个输出通道，适配大尺寸晶圆腔室三分区供气、多腔体并行工艺，为半导体精密制程提供多区域气体分配解决方案，兼容整机DeviceNet工业网络组网调试。

工作原理

整机搭载三套独立传感采集单元与高速数字闭环控制回路，持续监测总进气流量压力，运行专用三区配比算法，同步调节三路输出阀门开度。即便前端供气压力、总流量发生波动，依旧维持三路输出配比稳定。通过DeviceNet总线完成比例参数下发、实时流量读取、设备故障诊断回传，同时内置网页诊断界面，浏览器直接调取设备工况，不依赖专用调试软件即可完成参数校验，控制逻辑不受工艺气体组分变化干扰。

核心特点

三区独立流量分配，单气源三分流，支持三路差异化配比设定，适配腔室内部三分区供气，改善大尺寸晶圆表面气体分布均匀性。
宽温域工况适配，工作温度区间10‑60℃，温漂系数低，在环境温度波动的设备机箱内，依旧保障配比精度稳定。
DeviceNet标准工业总线，遵循ODVA规范，可直接接入现有工控网络，远程完成配方调用、参数修改、状态监控，布线简洁，便于整机集成改造。
抗输入扰动性能优异，进气流量波动时三路输出比例不漂移，配比建立时间短，缩短工艺等待周期，提升机台产出效率。
高纯流体通路，316 VAR不锈钢润湿部件，适配各类高纯、腐蚀性工艺气体；氮气当量量程可选500‑10000 sccm多规格，全部通道量程保持一致。
嵌入式网页诊断功能，无需拆机，普通浏览器即可读取流量、温度、报警代码，快速定位故障，降低产线停机维护时长；全部配比参数总线远程设置，摒弃人工手动节流调试，消除人为调试带来工艺偏差。

关键技术参数

通道数量：3通道（三区）
通讯接口：DeviceNet
工作环境温度：10‑60℃
通道控制区间：满量程5‑100%
配比精度：±2%设定点（＞10%满量程工况）
配比重复度：±0.3%设定点
配比建立时间：＜3s（受下游流导影响）
最大入口压力：150 psig
最大出口工作压力：200 Torr
润湿材质：316 VAR不锈钢、PTFE等
标定介质：氮气当量，兼容多种工艺气体

应用场景

多用于300mm晶圆刻蚀、光阻剥离、CVD薄膜沉积工艺，实现工艺腔内部三分区气体分配；多腔体并行设备单气源三分流；平板显示、光伏镀膜设备，通过三区流量差异化调控，优化膜层均匀度，降低批次间工艺差异，适配搭载DeviceNet总线架构的真空工艺整机。

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