岛津Shimadzu MSE‑2603 移动式在线氦质谱检漏仪

产品简介

MSE‑2603属于岛津干式氦质谱检漏系列，带滚轮推车式整机结构，兼顾现场移动检测与产线在线集成两大用途，整机全部采用无油干式真空系统，无油蒸汽污染，可直接部署洁净车间使用。依托270°磁偏转分析管，支持氦气、氢气双示踪气体检测，既可以单机完成零部件抽检，也可接入自动化产线实现连续在线密封性检测，区别于MSE‑3410侧重大容积高速产线，MSE‑2603更偏向多品种工件、设备维护调试、中小型腔体在线检漏场景，兼顾灵敏度与设备通用性，是半导体、新能源、制冷行业密封检测的通用型主力设备。

检测原理

采用270°磁偏转氦质谱检测原理，以氦气作为主要示踪介质，也兼容氢气检漏模式。被测工件内部抽真空，外部喷吹示踪气体；一旦存在泄漏，示踪气体进入仪器，经离子源电离后，依靠磁场完成质荷比筛选，精准捕捉氦离子信号，换算输出量化漏率数值。设备搭载双镀氧化钇铱灯丝，内置温度补偿自动调谐校准，抵消环境温度波动带来的灵敏度偏移；具备优异本底快速恢复能力，遇到大漏工件后基线可以迅速回落，无需长时间等待，快速接续下一次检测，减少产线待机损耗。整套真空系统全部为无接触干式泵，全程不使用油式前级泵，规避油返流污染待测工件。

核心产品特点

全干式无油真空配置，分子拖拽泵搭配干式前级泵，无油气返流，适配半导体、锂电等对洁净度有严格要求的生产环境，降低工件被油污污染风险。
高氦抽速设计，测试端口氦抽速可达5.2L/s，缩短工件抽真空与响应时间，提升单件检测节拍，中小型腔体工件检测效率表现突出。
推车式一体化机身，自带移动滚轮，既可在车间内多点移动抽检，也可固定安装集成在线工位，兼顾离线维修检漏与产线在线自动化检测两种模式，设备复用性高。
双灯丝冗余保障，内置两支铱灯丝，一支发生损耗，可无缝切换备用灯丝继续工作，减少产线突发停机；温度补偿自动校准，降低人工标定频次，保障批量检测一致性。
丰富工业IO通讯能力，配备RS‑232C/RS‑485串口，多路可配置NPN/PNP数字输入输出接口，可对接PLC、上位机，实现远程启停、判定输出、检测数据上传，适配自动化产线闭环控制。
触控式人机交互，大尺寸彩色触控屏，漏率实时曲线可视化，支持阈值报警、数据记录；可搭配选购嗅探组件，拓展正压嗅探检漏，实现真空喷吹、罩袋法、正压嗅探多种检漏工艺切换。

主要技术参数

检测原理：270°磁偏转质谱法
示踪气体：氦气He，兼容氢气H₂
漏率测量范围：He：10⁻¹³～10⁰ Pa·m³/s；H₂：10⁻⁹～10⁰ Pa·m³/s
分析管：270°磁偏转，双支镀氧化钇铱灯丝，带温度补偿自动灵敏度校准
真空系统：70L/s分子拖拽泵；250L/min无接触干式泵；双路皮拉尼真空计
测试接口：NW25KF，端口最大承受压力1000Pa，氦抽速5.2L/s
I/O接口：RS‑232C/RS‑485，4路输入、12路输出，NPN/PNP可选
整机重量：约90kg
供电：AC100‑240V，900VA，50/60Hz
工作环境：5‑40℃

典型应用场景

半导体设备腔体、真空零部件在线及离线密封性检测；新能源小型电池组件、水冷接头焊缝检漏；制冷压缩机、换热器、阀门器件密封性测试；科研真空设备维护检漏；医疗器械密封件检测；多品种小批量产线在线检测工位。

最新资讯 岛津 Shimadzu 在线式氦气泄漏检测器 MSE-2603