MKS DLT4B‑DeviceNet 四通道质量流量比控制器（CE标准）

产品简介

DLT4B‑DeviceNet属于MKS DELTA™ IV系列四通道流量比控制器，具备CE合规认证。设备单路进气输入，将混合工艺气体按设定配比拆分输出至四路独立通道，替代立质量流量控制器的组合方案，大幅简化气路布局。搭载DeviceNet工业总线，面向大尺寸晶圆多分区供气、多腔体并行制程，在满足半导体严苛工艺条件的同时，满足欧盟电磁兼容、电气安全相关标准，可直接用于出口型设备整机配套。

工作原理

设备内置四组独立传感采集单元与数字闭环控制回路，实时采集总进气流量与压力信号，通过专用四通道配比算法同步调节四路输出阀件开度。即便上游供气压力、总流量发生波动，依旧维持四路输出配比稳定。依托DeviceNet总线完成配比配方下发、流量数据回读、设备故障报警，内置网页诊断界面，无需专用调试软件，浏览器即可读取设备运行状态，不受气体组分扰动影响，保障四路输出工艺一致性。

核心特点

四通道分区流量分配，单气源实现四路差异化配比输出，适配腔室四分区供气，改善大尺寸晶圆全域薄膜均匀性，减少多台MFC组合带来的气路复杂问题。
CE认证合规机型，满足欧盟EMC电磁兼容、电气安全要求，适配出口海外的真空工艺设备整机集成，屏蔽线缆双端接地即可满足规范使用条件。
DeviceNet工业现场总线，遵循ODVA协议，可接入现有工控网络，远程完成工艺配方调用、参数修改、状态监控，布线精简，便于产线设备改造升级。
优异抗扰动能力，进气流量压力波动下四路配比不漂移，典型建立时间小于3秒，缩短工艺等待周期，提升设备产能，通道分辨率可达0.02%满量程。
高纯流体通路，316 VAR不锈钢润湿部件，适配高纯、腐蚀性工艺气体；氮气当量量程可选500‑10000sccm，四通道量程保持统一规格。
嵌入式电子诊断功能，无需拆机，直接读取流量、温度、故障代码，快速定位异常，降低产线停机维护时间；全部配比参数总线远程配置，消除人工调试带来工艺偏差。
宽工作温度10‑60℃，温漂系数低，机箱内部温度波动工况依旧维持配比精度稳定。

关键技术参数

通道数量：4通道（四区）
通讯接口：DeviceNet
合规标准：CE（EMC、电气安全）
工作温度：10‑60℃
通道控制区间：满量程5‑100%
配比精度：±2%设定点（流量大于10%满量程）
配比重复度：±0.3%设定点
配比建立时间：＜3s（受下游流导影响）
分辨率：0.02%满量程
最大入口压力：150psig
最大工作出口压力：200Torr
润湿材质：316 VAR不锈钢、PTFE等
标定介质：氮气当量，兼容多种工艺气体

应用场景

适配300mm晶圆刻蚀、剥离、CVD薄膜沉积工艺，实现工艺腔四分区气体分配；多腔体并行设备单气源四分流；平板显示、光伏镀膜设备，通过四路独立流量调控优化膜层均匀性，降低批次差异；适合需要出口欧盟、配置DeviceNet总线架构的半导体真空工艺整机。

需要继续输出下一款产品介绍吗。

最新资讯 美国 MKS DLT4B-DeviceNet 质量流量比控制器 CE 标准