发布时间
2026 年 7 月 10 日
MIYUKI美幸辉 两级快慢排气真空蝶阀 G-C250
适配 CF250 金属密封法兰,专为大型真空腔体分段泄压工艺打造,集成慢排、快排双段开度,省去外置旁路针阀,简化真空管路布局。阀体采用 SUS304 不锈钢真空钎焊一体成型,内腔镜面抛光,无尘车间装配并通过氦质谱检漏,漏率低至 1×10⁻⁹Pa・m³/s,低放气、低析出,适配半导体、光学镀膜、光伏、锂电等高洁净制程。
双段气动气缸支持三档位动作:全关→0~45° 慢速微开缓排气→90° 全开快速通流,腔体泄压平缓,避免薄膜起泡、电解液飞溅、粉尘扬尘等工艺缺陷;气缸自带末端气垫缓冲,启闭无撞击、低噪音,百万次循环稳定耐用,气源适配 0.4~0.6MPa 洁净压缩空气。超薄阀体结构气流阻力小、流导优异,缩短抽真空时长,支持任意角度无流向限制安装。阀座标配 FKM 氟橡胶密封,可选全氟醚材质耐受腐蚀工艺气体,内置到位微动开关可对接 PLC 自动控制,适用真空区间 10⁵~10⁻⁵Pa,是大口径量产真空设备核心配套控制阀。