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最新资讯 MIYUKI美幸辉 气动真空闸阀 L-J65发布

更新时间:2026-07-10      浏览次数:9

发布时间

2026 年 7 月 10 日

我们谨通知您,我们已开始销售以下产品。

新产品

 MIYUKI美幸辉 气动真空闸阀 L-J65发布 

气动真空闸阀,采用超薄阀体设计,主打超高流导,适配 JIS65 日标法兰,是半导体、真空镀膜、锂电化成设备通用高真空切断阀门。阀体采用轻量化铝合金搭配内腔真空钎焊 SUS304 不锈钢流道、镜面抛光,大幅降低气体析出,无尘车间完成组装与氦检,洁净度满足精密制程需求。
阀板仅密封阶段接触阀体,启闭全程低摩擦、少产尘,避免晶圆、光学膜污染;等间距球压式密封结构抗背压能力强,阀座漏率低于 1×10⁻¹⁰Pa・m³/s,密封稳定耐用。气动气缸自带末端气垫缓冲,启闭无撞击、静音减震,百万次循环不易损坏,适配自动化连续生产工况。
超薄面间距结构大幅降低气流阻力,同口径流导优于传统闸阀,有效缩短腔体抽真空时长;结构紧凑节省设备安装空间,适配狭小管路布局,支持多姿态安装。适用真空区间 105~10⁻⁶Pa,可用于镀膜机、科研真空腔体、光伏面板生产线,原厂标准配件,国内现货供应,配套完整技术图纸与气密性检测报告。


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