玉崎产品！美国布鲁克斯Brooks Instrument GF-125-XSDO-SH48 030L流量计

更新时间：2026-07-22

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美国 Brooks GF-125 属于 GF100 系列PTI 压力瞬态不敏感型全金属密封热式质量流量控制器，型号 GF-125-XSDO-SH48 030L，氮气当量满量程 30SLPM。依托热式传感原理直接测量气体质量流量，无需温压补偿；压力瞬态抑制技术，上游压力波动工况下流量输出保持稳定，大幅降低工艺波动对反应体系的干扰。

整机全金属流路，无弹性密封圈，内壁 4μinch Ra 高光洁度，符合 SEMI F20 高纯标准，哈氏合金传感元件耐受多种轻微腐蚀性工艺气体，杜绝有机析出污染气路。精度指标 35~100% FS 可达 ±1% 设定值，2~35% FS 为 ±0.35% 满量程，重复性优于 ±0.15% 设定值，稳定时间 300~700ms，响应迅速。

SH48 接口集成RS485 数字通讯 + 0~5V 模拟量信号，可直接对接岛电温度转换模块、PLC 与上位控制系统；支持 MultiFlo 组态软件，可在线切换气体种类与量程，无需拆机标定。标准卡套接口便于气路集成，最高工作压力 150PSI，工作环境 5~50℃。常搭配 TAIKA 加热系统组成恒温反应气路，广泛用于精细化工反应釜供气、薄膜沉积、新材料制备、半导体工艺高纯气体精准配比。

（全文 296 字）

核心指标规格

型号定位：GF125 PTI 压力不敏感型金属密封 MFC；030L=30SLPM（N₂当量）
测量原理：热式质量流量，仅适用气体
核心优势：压力瞬态抑制，抵御上游压力波动干扰
流路结构：全金属密封，4μinch Ra，高纯洁净流路
精度性能：35~100% FS ±1% SP；2~35% FS ±0.35% FS；重复性 ±0.15% SP
响应特性：流量稳定时间 300～700ms
电气配置：SH48，RS485 数字通讯 + 0~5V 模拟信号
传感材质：哈氏合金传感器，耐弱腐蚀工艺气体
配套软件：MultiFlo Configurator，在线切换气体 / 量程、诊断校准
最大工况压力：150PSI
工作环境：5～50℃，洁净无凝露工况
适用场景：半导体、薄膜工艺、精细化工反应釜、实验室催化合成、新能源材料高纯气体供给