玉崎产品！美国布鲁克斯Brooks GF100-CXX0金属密封式质量流量控制器

更新时间：2026-07-22

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美国 Brooks GF100 属于 GF100 系列标准型全金属密封 MFC，型号 GF100-CXX0 为常闭阀基础配置，采用热式质量传感原理，直接测量气体质量流量，无需温压补偿，面向高纯气体、轻微腐蚀性工艺气精密流量控制。整机无弹性密封圈，全金属流路满足 SEMI F20 高纯标准，可选 4/5/10μinch Ra 镜面抛光，杜绝橡胶析出污染气路；哈氏合金传感元件，高温工况测量重复性优异。

搭载MultiFlo™技术，单台设备支持在线切换多种气体与量程，无需拆机重新标定，降低备品数量。精度 35~100% FS 可达 ±1% 设定值，2~35% FS 为 ±0.35% 满量程，重复性优于 ±0.15% 设定值；流量稳定时间 300ms～1s，动态响应迅速。支持 0~5V 模拟量、RS485、DeviceNet 多种电气接口，可对接岛电信号转换模块、PLC 与上位系统，配套组态软件实现参数设置、零点校准与故障诊断。

标准 C 型密封接口，最大耐压 150PSI，工作环境 10～50℃。常与 TAIKA 加热系统配套搭建恒温反应气路，广泛用于实验室催化合成、薄膜沉积、MOCVD、新材料制备、半导体工艺高纯气体精准供给。

（全文 296 字）

核心指标规格

型号定义：GF100 = 标准性能金属密封流量控制器；CXX0 代表常规接口、无特殊功能、常闭阀门
测量原理：热式质量流量，仅适用于气体介质
流路结构：全金属密封，无弹性体，高纯洁净流路
精度指标：35~100%FS ±1%SP；2~35%FS ±0.35%FS
重复性：±0.15% 设定值，量程比 50:1
核心技术：MultiFlo™，在线切换气体种类与量程
接液材质：316L 不锈钢、哈氏合金传感器
可选通讯：0~5V 模拟、RS485、DeviceNet
响应特性：稳定时间 300ms～1000ms
最大工况压力：150PSI
配套软件：MultiFlo Configurator 组态诊断工具
适用场景：半导体、薄膜工艺、精细化工反应釜、实验室催化、新能源材料高纯气路控制

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