玉崎产品！美国布鲁克斯Brooks GF80-CXXC-SH40 010C流量控制器

更新时间：2026-07-22

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美国 Brooks 布鲁克斯 GF80 属于 GF 系列全金属密封型 MFC，型号 GF80-CXXC-SH40 010C，氮气当量满量程 10SCCM，采用热式质量传感原理，直接测量气体质量流量，无需温压补偿，适配高纯气体、轻微腐蚀性气体精密供气控制。流道全金属无弹性密封圈，杜绝橡胶渗透、老化析出污染气路，满足半导体、精细化工高洁净工艺要求；搭载 MultiFlo™技术，可在线切换多种气体与量程，无需拆机重新标定，降低备品数量。

测量精度 35~100% FS 为 ±1% 设定值，2~35% FS 可达 ±0.35% 满量程，重复性优于 ±0.2% 设定值，调节比 50:1；内置伺服调节阀，流量稳定时间＜1 秒，动态响应迅速。SH40 接口兼容 0~5V 模拟量信号，可直连 PLC、岛电温度转换模块、上位控制系统；配套 MultiFlo 调试软件，支持参数配置、零点校准、在线故障诊断。

传感器采用哈氏合金材质，耐多种工艺气体腐蚀，最大工作压力 150PSI，标准卡套接口便于管路装配。工作环境 5~50℃，常搭配 TAIKA 加热系统组成恒温反应气路，广泛用于实验室催化合成、薄膜沉积、新材料制备、半导体工艺微量气体精准配比。

（全文 296 字）

核心指标规格

型号定义：GF80 = 金属密封质量流量控制器；010C=10SCCM（N₂当量）
测量原理：热式质量流量（TMF），仅适用于气体
流路结构：全金属密封，无弹性体，高洁净、低析出
精度指标：35~100%FS ±1%SP；2~35%FS ±0.35%FS
重复性：±0.2% 设定值，量程比 50:1
核心技术：MultiFlo™，多气体、多量程软件切换
传感材质：哈氏合金传感器，耐腐蚀性工艺气体
电气配置：SH40，0~5V 模拟信号标准接口
工况压力：最高 150 psi
响应特性：流量稳定时间＜1s
配套软件：MultiFlo Configurator 组态与诊断工具
适用场景：高纯气路、实验室催化反应、薄膜工艺、新能源材料、半导体微量气体精准供给

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