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更新时间:2026-07-15
浏览次数:14日本 Diavac 大亚真空 TRPC-21-C70 为皮拉尼 + 冷阴极复合式真空变送器,搭载核心过放电保护功能,一体化集成传感与控制电路,一支探头覆盖大气压至高真空全域测量,适配半导体、镀膜、锂电等高洁净真空制程。
设备内置智能压力监测逻辑,当腔体突入大气、压力骤升时自动切断冷阴极放电回路,规避高压过放电击穿电极、腐蚀感应腔体,大幅延长传感器使用寿命,减少频繁更换成本,解决传统冷阴极真空计易因充气损坏的痛点。
测量跨度 1×10⁵ Pa ~ 5×10⁻⁷ Pa,数字电路平滑切换高低真空测量模式,无数值跳变;介质接触面采用 SUS316L 不锈钢,耐工艺水汽、轻微腐蚀,适配各类洁净工艺气体。标配 DC0~10V 对数线性模拟输出、RS-485 双线通讯,搭配双路设定点输出,可直连 PLC、显示仪表实现自动化联锁控制。
接口为 ICF70 标准法兰,拆装清洁无需拆卸电路模块,维护便捷;整机 IP40 防护,DC14~26V 宽压供电,符合 CE、RoHS 环保标准。广泛用于真空镀膜、半导体刻蚀、锂电池真空注液、科研高真空腔体等场景,依靠过放电防护、超宽量程、数字化组网三大优势,成为产线长期稳定监测的核心真空仪表。
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