日本 Diavac 大亚真空 TRD-10-P13NC 为压电隔膜式真空变送器,搭载扩散型半导体压力传感芯片,非加热无灯丝结构,是半导体、镀膜、化工洁净制程专用宽量程真空监测仪表。整机满量程 133kPa,读数精度高达 0.2% FS,采用芯片补偿 + 温度双级校正,大幅削弱温漂影响,相比普通隔膜真空计,无内置对置电极,外界大气压波动干扰极低,长期连续测量数值稳定不漂移。
介质接触部件采用 SUS316L 不锈钢,耐轻微酸碱、水汽腐蚀,适配各类工艺气体检测,不会像热传导真空计出现有机蒸汽高温裂解、腔体污染问题,洁净生产场景适配性。供电 DC14~26V,标配 DC0~10V 模拟输出与 RS485 双线半双工数字通讯,可搭配 DGC-A12/DGC-A31 显示表头,同步接入 PLC 自动化系统实现数据采集与联锁控制。
接口为标准 8VCR 内螺纹,安装拆装便捷,防护等级 IP40,整机结构紧凑轻量化,符合 CE、RoHS 环保标准。广泛用于半导体设备、真空镀膜、锂电池制程、制药真空管路、化工负压设备等常压至低真空工况,兼顾高精度、耐腐蚀、无污染、易组网四大核心优势。