发布时间
2026 年 7 月 22 日
美国 Brooks AMF 系列为新一代小型化高性能数字 MFC,型号 AMF-CC7S1Y 属于带闭环控制阀的流量控制器(AMFC),采用热式质量传感原理,直接测量气体质量流量,无需温压补偿,专为安装空间受限的气路系统打造。整机体积小巧,仅便签大小,可紧凑布置于气体柜、小型反应设备内部;弹性体密封结构,可选多种密封材质适配惰性气体、弱腐蚀性工艺气体,阀门切断泄漏率<0.005SCCM,保障气路洁净度。
机型拥有行业 1000:1 超高量程比,高低流量区间均可稳定控制;20~100% FS 精度可达 ±0.6% 设定值,低于 20% FS 为 ±0.12% 满量程,重复性 ±0.25% 设定值,长期零点漂移低,有效延长校准周期。内置多气体参数存储,支持软件切换介质,无需拆机重新标定;搭载 USB-C 调试端口,配合内置网页界面,无需额外软件即可完成参数配置、在线诊断与故障预警。
电气配置兼容模拟量信号,可选 EtherNet/IP 工业以太网通讯,可直接对接岛电 SHIMADEN 信号转换模块、PLC 与上位控制系统;标准最大耐压 150PSI,工作温度 0~65℃。常搭配 TAIKA 加热系统组成恒温反应气路,广泛用于实验室催化合成、薄膜镀膜、生物反应器供气、新材料气相工艺、小型半导体设备微量气体精准配比。