最新资讯美国布鲁克斯Brooks SLA5850质量流量控制器

更新时间：2026-07-22

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发布时间

2026 年 7 月 22 日

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新产品

美国 Brooks SLA5850 属于经典 SLA5800 系列中小量程 MFC，采用热式质量传感原理，直接测量气体质量流量，无需温压补偿，是实验室、精细化工、薄膜工艺久经验证的标准化流量控制单元。机型覆盖 3SCCM～50SLPM 氮气当量量程，1～50SLPM 规格量程比可达 100:1，小流量区间控制能力突出。弹性体密封结构可选 Viton、全氟醚 Kalrez 密封件，适配惰性气体与弱腐蚀性工艺气；接液主体 316L 不锈钢，可根据工艺选配生物级密封方案，满足发酵、医药合成洁净需求。

整机搭载数字化信号处理，长期零点稳定性优异，年漂移＜0.2% FS，有效延长校准周期；20～100% FS 精度 ±0.6% 设定值，重复性 ±0.2% 设定值，动态响应迅速。内置多气体程序，单机可存储多种气体参数，支持在线切换介质，无需拆机重新标定。电气方案灵活，兼容 0~5V、4~20mA 模拟信号，可选 RS485、DeviceNet、PROFINET 等工业总线，可直接对接岛电 SHIMADEN 信号转换模块、PLC 与上位监控系统。

标准工况耐压 1500PSI，介质适用温度 - 14～65℃；配备独立诊断调试端口，支持在线自检、故障预警与零点校准。常搭配 TAIKA 加热系统组成恒温反应气路，广泛用于催化实验、反应釜保护气供给、生物发酵、薄膜沉积、新材料气相合成、半导体微量工艺气体精准配比。

（全文 296 字）

核心指标规格

型号定位：SLA5850 弹性体密封数字 MFC，中小量程主力机型
测量原理：热式质量流量（TMF），仅适用于气体
量程范围：N₂当量 0.003～50 SLPM
控制量程比：1～50SLPM 区间 100:1；其余量程 50:1
精度指标：20~100% FS ±0.6% 设定值；重复性 ±0.2% 设定值
密封结构：弹性体密封；密封件可选 Viton、Kalrez、USP 生物级材质
接液材质：316L 不锈钢
通讯类型：模拟 0~5V/4~20mA；可选 RS485、DeviceNet、PROFINET
最大工作压力：标准 1500PSI（可选 4500PSI 高压版本）
温度区间：介质 - 14～65℃
特色功能：多气体切换、内置诊断端口、低年漂移
适用场景：实验室催化合成、化工反应釜供气、生物发酵、薄膜工艺、新材料制备、半导体微量气体配比

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