最新资讯美国布鲁克斯Brooks 真实差压测量器GP200-P0013045L

更新时间：2026-07-22

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发布时间

2026 年 7 月 22 日

我们谨通知您，我们已开始销售以下产品。

新产品

美国 Brooks GP200 系列属于压力式 P-MFC 质量流量控制器，型号 GP200-P0013045L，采用真实差压直接测量技术，区别于传统双绝压传感器差值运算，搭配层流元件计算气体质量流量，适配低蒸气压特种工艺气体精密供气控制。整机全金属密封流路，无弹性密封圈析出污染，满足半导体高纯工艺标准；下游阀结构大幅降低阀门泄漏量，耐受上游压力剧烈波动，压力瞬态不敏感，工况稳定性远超常规压力式流量控制器。

搭载 MultiFlo™智能组态技术，支持在线切换多种气体与量程，无需拆机重新标定；测量精度优异，重复性可达 ±0.15% 设定值，动态响应匹配刻蚀、沉积工艺瞬态流量需求。兼容 0~5V 模拟信号、RS485、DeviceNet 等多种通讯协议，可直接对接岛电 SHIMADEN 信号转换模块、PLC 与上位监控系统，配套 BEST 软件实现参数配置、故障诊断与在线校准。

设备支持低压入口运行，适配多种腐蚀性、易冷凝工艺气体，标准卡套接口便于气路集成。常与 TAIKA 加热系统配套搭建恒温反应气路，广泛用于半导体刻蚀、CVD 薄膜沉积、精细化工气相合成、新材料制备等高纯度气体精准输送场景。

（全文 296 字）

核心指标规格

型号定位：GP200 真实差压测量型金属密封压力式质量流量控制器（P-MFC）
核心原理：单片集成 ΔP 真实差压传感器 + 绝压传感器，搭配层流元件测算质量流量
关键优势：无需双绝压传感器差值运算，长期温漂更小，适合低蒸气压气体
流路结构：全金属密封，无橡胶密封件，高洁净、低析出
阀门设计：下游布置控制阀，泄漏指标大幅优化
核心技术：MultiFlo™，气体种类、量程软件在线切换
信号接口：模拟量 + 数字通讯多规格可选
耐受工况：抵御上游压力快速波动，具备优异抗干扰能力
适用介质：惰性气体、氟化物、氯化物等多种工艺气体
最大工作压力：标准 150PSI
配套软件：Brooks BEST 组态诊断工具
适用场景：半导体刻蚀 / 薄膜沉积、精细化工气相反应、实验室特种气体供给

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