发布时间
2026 年 7 月 15 日
日本 Diavac 大亚真空 IT-3DA 是机柜嵌入式热阴极电离真空控制器，主打超高适配兼容性，专为高真空工艺监测打造，可匹配原厂 TRI 系列多款热阴极电离探头，支持 NW25、C70 等多种标准法兰传感器，单台主机灵活适配不同腔体安装规格，设备替换、产线改造无需更换主控仪表，大幅降低配套成本。
设备覆盖超高真空测量区间，内置多气体修正程序，氮气、氩气、氦气等各类工艺气体均可精准校正，测量数值稳定、温漂控制优异，采样速度 100ms，压力变化响应无滞后跳变，满足半导体、光学镀膜等高精密制程监测标准。机身操作面板按键布局简洁，支持电离灯丝启停外部信号控制，搭载两路独立设定点输出，可自定义真空阈值、动作回差，联动阀门、真空泵实现工艺联锁保护。
标配 DC0~5V/0~10V 记录仪模拟输出，可选配 RS485/RS422A 串行通讯，单总线最多挂载 16 台仪表，无缝对接 PLC、工控上位机完成自动化数据采集；AC100~240V 宽电压供电，国内工业供电直接适配，标准机柜嵌入式尺寸，安装拆装便捷。气路接触部件采用 SUS316 不锈钢，耐受微量水汽与有机蒸汽污染，整机抗震动、长期连续运行不易漂移，广泛用于真空蒸镀、半导体刻蚀、锂电高真空设备、科研实验腔体等场景，凭借探头兼容广、适配多产线、数字化组网的优势，是通用性的高真空测控仪表。
更新时间：2026-07-15 
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