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更新时间：2026-10-28 
浏览次数：5OSAKA VACUUM大阪真空 ER100D 节能多级罗茨干式真空泵，泵腔无油结构，搭载节能空转功能，体积紧凑，分为标准型ER100D与耐腐蚀版本ER100DC，提供洁净真空，适合半导体、镀膜、分析仪器作为分子泵前级泵使用。
多级罗茨干式结构，真空侧无油密封，无油蒸气污染，输出洁净真空
搭载节能空转机制，极限压力下功耗仅400W，节能效果突出
大气压下可连续运行，大气压区间抽速高，缩短抽气时间
支持水汽处理，最大水汽处理量500g/h，适配含水蒸气工艺
整机占地面积小，仅0.11㎡，布局节省洁净室空间
可选耐腐蚀ER100DC型号，接触气体部件采用耐蚀材质，应对腐蚀性工艺气体
配备氮气吹扫接口，减少工艺粉尘附着，延长泵使用寿命
泵类型：多级罗茨干式真空泵
抽速：1670 L/min
极限压力：5 Pa
接口规格：吸气口KF50、排气口KF25
供电：三相AC200-220V，50/60Hz，电源容量3200VA
冷却方式：水冷
整机重量：60kg
吹扫氮气流量：17～20 Pa·m³/s
适用领域：半导体、光学镀膜、显示面板、理化设备、真空腔体锁气室
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