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更新时间:2026-09-30
浏览次数:49仓敷化工PST-314D属于PST-D系列膜片式万向(万向节)活塞空气弹簧被动除振单元,带外置阻尼器,为大载荷精密设备开发。搭载经典球形万向节活塞结构,垂直、水平双向低固有频率,专门用于重型光学平台、大型半导体检测设备、精密光刻机配套平台等重载精密仪器。标准采用4只单元组合支撑整套设备。
型号:PST-314D,万向节活塞式空气弹簧,外置阻尼标配
4脚组合总承载上限:12000kg;单只单元承载570~1500kg
固有频率:垂直1.8~2.5Hz;水平1.5~2.0Hz
供气压力:0.4~0.7MPa
外形尺寸:400×400mm
调平方式:自动水平调节阀,水平调节精度±0.05mm以内
阻尼配置:外置阻尼器为标准配置,快速衰减扰动余振
主体结构:橡胶隔膜+铝合金本体+球形万向节活塞
工作温度:5℃~40℃;储存温度:-10℃~50℃
特性:洁净室低发尘设计,可应对设备滑台移动带来的重心变化
万向节球形活塞结构,水平方向刚度低,垂直与水平均可实现低固有频率,水平隔振性能优异。
标配外置阻尼器,对比PST-300基础系列,受冲击、滑台移动扰动后,平台晃动收敛速度大幅提升,适合重心会变动的大型精密平台。
内置大容量辅助供气阀,负载变动时快速充排气,迅速恢复水平姿态。
被动式结构,无需传感器与控制器,仅接入洁净压缩空气,系统稳定,维护简单。
低发尘隔膜构造,适配半导体、光学无尘车间环境。
自动水平阀,负载变化可自动维持平台高度,减少人工调平工作量。
压缩空气充入橡胶隔膜空气腔,依靠气体弹性承担设备静载荷。球形万向节活塞允许水平方向相对滑移,降低水平方向刚度,实现水平低频隔振。地面产生的振动传入单元,空气弹簧缓冲垂直振动,万向活塞结构隔离水平振动;配套外置阻尼器消耗振动能量,抑制共振峰值,快速吸收冲击扰动,阻断地面微振动传递至上方精密设备。属于被动隔振,无主动反馈控制。
整套系统采用4点支撑,尽量均分载荷,设备重心落在四点中心区域,降低偏载。
气源必须配套过滤器、减压阀、干燥器,去除压缩空气的水分、油污,防止隔膜老化、阀件故障。
供气压力维持0.4~0.7MPa;压力不足会抬高固有频率,降低隔振效果。
适合大型平台、带线性滑台的设备;滑台移动造成重心偏移时,辅助供气阀快速补偿,维持水平。
环境温度控制5~40℃,高温会加速橡胶隔膜老化。
远离大功率电机、冲击载荷,外部强冲击仍会造成平台短暂晃动。
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