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更新时间:2026-09-30
浏览次数:46仓敷化工EST-A6属于Type-A空压式主动除振单元,搭载空气弹簧+主动反馈控制系统,区别于EST-A8被动款。依靠气压驱动+传感器实时检测振动,自动修正姿态与振动,适合中小型精密设备,半导体检测、光学干涉仪、精密探针台等对微振动要求严苛的场景。整套系统由除振单元本体、数字控制器、洁净压缩空气气源组成。
型号:EST-A6(空压控制主动除振单元)
型式:空气弹簧式主动隔振,6自由度主动反馈控制
单单元适用载荷:80~230kg
固有频率:主动控制下可抑制至接近1Hz级别,消除共振峰
控制方式:加速度传感器实时采集振动信号,气压伺服主动补偿
供气压力:0.4~0.6MPa,低耗气量,小型空压机即可配套
调平功能:自动调平,设备负载变化时自动维持设定高度与水平
外形底座:160×160mm,上下法兰预留安装螺纹孔
主体材质:增强橡胶空气囊、铝合金安装底座
工作温度:5℃~40℃;储存温度:-10℃~50℃
单单元自重:约3.2kg
配套:独立数字控制器,支持振动状态监控、参数保存
空压主动控制,相比被动除振单元,可主动抵消地面传入的低频振动,共振区域无放大,隔振性能远优于EST-A8被动款。
自动调平功能,设备载荷变动、重心偏移时,系统自动调节各单元气压,维持平台水平。
6自由度振动控制,同时管控垂直、水平多方向微振动,满足纳米级精密检测设备需求。
耗气量小,无需大流量空压机,配套气源成本低;气囊耐老化,适配洁净室环境。
模块化单元设计,常规设备4点支撑组合使用,可灵活搭建不同尺寸除振平台。
控制器可实时监测振动波形,支持参数存储,方便设备调试与品质记录。
单元内置空气弹簧、加速度传感器与气压伺服阀。传感器持续采集上部设备的振动信号,传输至数字控制器;控制器计算补偿量,实时调节空气弹簧内部气压,产生反向抵消力,抑制地面振动向上传递。空气弹簧承担静态承重,伺服气压系统实现动态主动除振,同时自动维持平台高度与水平姿态。
整套系统由4个EST-A6单元+1台控制器组成,4点支撑,需尽量均分载荷,重心尽量落在四点中心区域。
压缩空气必须前置空气过滤器、减压阀、干燥器,除去水分、油污,防止气囊老化、伺服阀故障。
供电需稳定,控制器避免与大功率电机、变频器共用同一路电源,防止电气噪声干扰。
环境温度保持5~40℃,高温会加速橡胶气囊老化;远离强磁场、冲击载荷。
载荷不可低于80kg下限或超过230kg上限,超出范围会造成主动控制性能下降。
安装完成后执行初始自整定,控制器自动识别系统特性,优化控制参数。
EST-A6:主动空压型,单只80~230kg,自动调平,6自由度主动抑制
EST-A8:被动空气弹簧,单只20~80kg,无控制器,仅被动缓冲
EST-A11:主动空压型,更高载荷版本,单只190~550kg
单行精简参数:EST-A6空压控制主动除振单元,单只载荷80230kg,6自由度主动振动补偿,带自动调平,工作温度540℃。
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