日本 Diavac 大亚真空 TRI-10-N25Y 为一体化热阴极电离真空计，搭载智能自适应发射电流调控技术，主打超高真空区间高精度稳定测量，适配半导体、镀膜、科研等高洁净高真空制程监测。整机集成传感探头、控制电路与数字显示屏，一体式结构节省设备安装空间，NW25 标准卡箍法兰接口，拆装、腔体清洁无需拆解电路单元，维护便捷高效。
测量量程覆盖 1.33×10⁻⁷ Pa ~ 6.66 Pa，氮气工况典型精度 ±15%，内置 16 种工艺气体灵敏度修正程序，可适配氩气、氦气、各类混合工艺气体，大幅降低不同介质带来的测量偏差；设备根据真空度自动切换灯丝发射电流，避免低压区间灯丝过载损耗，有效延长传感器使用寿命。
气路接触面采用 SUS316 不锈钢、氧化钇铱灯丝，耐微量有机蒸汽、轻微水汽腐蚀，洁净度高不易污染腔体。标配 DC0~10V 模拟输出、RS-485 两线半双工数字通讯，搭配 1 路继电器设定点输出，可直连 PLC、工控系统实现真空联锁、数据实时采集存储；供电 DC20~28V，整机防护等级 IP40，符合 CE、RoHS 环保标准，整机仅 390g 轻量化机身。
广泛用于半导体刻蚀、光学真空镀膜、锂电池真空设备、科研超高真空腔体、电子元器件蒸镀等场景，凭借宽量程高精度、多气体修正、一体化易组网优势，是高真空工艺标准监测仪表。
更新时间：2026-07-15 
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