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更新时间:2026-07-10
浏览次数:10日本原装 MIYUKI 美幸辉 BR-I63 气动真空蝶阀,专为各类连续化真空制程打造,配套 JIS63 标准法兰,是镀膜、半导体、光伏、锂电、科研实验真空系统核心通断阀门。阀体一体式 SUS304 不锈钢精铣加工,内腔镜面抛光处理,无镀层、无杂质析出,万级无尘车间完成组装与氦质谱检漏,整机漏率可达 1×10⁻¹⁰Pa・m³/s,满足高洁净真空生产标准。
超薄阀体优化通流结构,流导性能优异,降低管路气流阻力,缩短腔体抽真空周期;气动气缸配备两端气垫缓冲,启闭动作柔和无撞击震动,不会干扰精密制程样品,百万次循环稳定耐用。标配 FKM 氟橡胶密封,耐受水汽、弱酸与常规工艺废气,腐蚀工况可升级全氟醚密封件。
支持 360° 任意姿态安装,适配狭小设备内部布局,阀体搭载到位感应开关,可直接对接 PLC 实现全自动真空制程联动控制。适用真空区间 10⁵~10⁻⁷Pa,兼具密封稳定、洁净低尘、运行低噪多重优势,适配批量连续真空生产与高精度实验室真空制程。
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