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玉崎产品!MIYUKI日本美幸辉 BH-I80 真空阀 双气缸缓冲静音

更新时间:2026-07-10      浏览次数:12

MIYUKI日本美幸辉 BH-I80 真空阀 双气缸缓冲静音 

采用双气缸同步驱动结构,搭配内置气垫缓冲系统,实现全程静音启闭,专为对震动、噪音敏感的真空产线打造,适配 JIS80 标准法兰。阀体一体式 SUS304 不锈钢真空钎焊成型,内腔镜面抛光,万级无尘车间组装并经氦质谱检漏,漏率低至 1×10⁻⁹Pa・m³/s,低放气、低析出,满足半导体、光学镀膜、锂电等高洁净生产要求。

双气缸对称布置,输出推力均匀稳定,关闭密封压紧力充足,抗背压性能出众;行程两端自带气垫缓冲,大幅削弱启闭冲击震动,运行噪音极低,避免震动造成样品损伤、设备传感器数据偏移。阀座标配 FKM 氟橡胶密封,强腐蚀工况可更换全氟醚密封,耐酸碱工艺气体。

整体结构紧凑轻薄,节省设备安装空间,支持无定向安装;内置到位感应开关,可对接 PLC 完成自动化控制,百万次往复循环稳定耐用。适用真空区间 10⁵~10⁻⁶Pa,兼顾密封性与运行平稳性,是需要低噪、无冲击工况下的大口径真空通断优选闸阀。


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