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更新时间：2025-11-06 
浏览次数：16根据您提供的信息，EBARA（荏原）ESA15-D 是一款专为抽取氢气等轻气体及满足大容量室快速抽气需求设计的干式真空泵12。以下是从参考信息中整理的关键信息：
应用场景：特别适合用于 MO-CVD（金属有机化学气相沉积）等需要大流量抽取轻气体（如氢气）的工艺，也适用于 LCD 溅射设备、真空干燥过程和大负载锁定应用1。
设计优势：对于抽气速度在 10,000 L/min 及以下的型号，采用了紧凑化设计，并提供了耐腐蚀材料的选项，有助于减少设备占地面积和增强耐用性12。
技术规格：属于 ESA 系列，该系列包括抽气速度从 1,400 到 10,000 L/min 的型号，以及排气速度从 20,000 到 80,000 L/min 的型号，以满足不同需求1。
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