咨询电话
13717093188
products
产品分类
更新时间：2025-10-29 
浏览次数：291. 核心特性
小型化设计：专为高负荷半导体工艺优化，体积紧凑，适合Subfab空间受限场景1。
无油运行：干式螺杆技术，避免油污染，适用于清洁排气需求（如电子显微镜、分析设备）2。
高耐用性：转子悬浮结构，无金属接触摩擦，寿命长且维护成本低。
2. 性能参数
抽气速率：覆盖多种工艺流程，具体型号如EV-X100N抽速达12673元/台（参考价）3。
极限压力：可达3Pa以下，满足半导体制造严苛真空要求。
冷却方式：风冷设计，无需额外冷却水，节能且低噪音2。
3. 应用领域
半导体制造：晶圆刻蚀、离子注入等工艺4。
光伏产业：太阳能电池生产中的真空环境控制4。
科研实验室：适用于电子显微镜、真空镀膜等清洁排气场景2。
CONTACT
办公地址：深圳市龙华新区梅龙大道906号创业楼3楼TEL：0755-28578111
EMAIL：hy@tamasaki.com
扫码微信联系 
您的位置：
在线咨询
返回顶部