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更新时间：2025-08-15 
浏览次数：115油旋片真空泵
型号：VDN、PVD、VSN系列，GLD系列（高性能、低震动、低噪音）
特点：优化散热设计，油位观察窗便于监测油污染状况
应用：真空镀膜、分析仪器、半导体制造设备等35
干式真空泵
防腐涂层处理转子轴与气缸，增强耐腐蚀性
特殊转子设计提升粉末排出性能
用途：半导体刻蚀/去胶设备、锂电池电极干燥、医疗冷冻干燥等4
MS系列螺杆泵（如MS600A）：
多重密封结构
通过导气槽设计引导气流，防止真空腔内杂质磨损转轴及齿轮，提升密封性1。
真空检漏装置
结合氮气源与真空计检测压力回升值，通过算法精准判断工件泄漏，提高检测效率2。
半导体制造：刻蚀设备、等离子清洗设备真空排气4
新能源：锂电池注液、电极干燥工艺4
工业设备：真空热处理炉、真空干燥系统
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