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气动主动微振动控制系统“α系列”特許機器株式会社

更新时间:2024-09-05      浏览次数:736

气动主动微振动控制系统“α系列"特許機器株式会社可以支持从3点到多点!根据设备规格和要求量身定制的微振动控制技术


“α系列"是一款气动主动微振动控制系统,汇集了微振动控制技术的精华。

半导体和液晶变得越来越精细,为了提高生产效率,
向着更高精度和更快的速度转变,这就
需要能够快速消除大的直动扰动的技术。该产品满足了这些市场需求,具有

优异的隔振性能、控制性能和恢复性能。

 [特点] ■优异的隔振性能■稳定时间快,位置控制准确■高耐用性*详情请参阅PDF文档或随时联系我们。

基本信息气动主动微振动控制系统“α系列"

[气动控制的特点]
■低范围隔振性优异
■易于承受静载荷
■易于控制位置姿势
■大行程
■无蠕变
■无发热
■无磁通泄漏

*详情请参阅PDF文件请查看或随时与我们联系。


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