TORAY东丽 MS-510 氧化锆型多点氧浓度仪

产品型号：
更新时间：2026-09-10

简要描述：TORAY东丽 MS-510 氧化锆型多点氧浓度仪
MS-500/MS-510/SD系列多点氧浓度计专为包括真空系统在内的各种设备而开发，充分利用了我们在半导体和电子行业氧浓度计制造领域积累的丰富经验。该系列产品
配备了我们自主研发的紧凑型氧化锆传感器，可实现长时间稳定、高精度的测量，并具有氧传感器保护机制，其耐用性远超传统产品。

TORAY东丽 MS-510 氧化锆型多点氧浓度仪

MS-500/MS-510/SD系列多点氧浓度计专为包括真空系统在内的各种设备而开发，充分利用了我们在半导体和电子行业氧浓度计制造领域积累的丰富经验。该系列产品

配备了我们自主研发的紧凑型氧化锆传感器，可实现长时间稳定、高精度的测量，并具有氧传感器保护机制，其耐用性远超传统产品。

总体规格

模型	控制器：MS-500 转换器：MS-510 传感器：SD16NW/SD25NW/SD40NW
测量点数量	最多可测量 8 个点（每个测量点需要一套检测单元）。
测量方法	氧化锆氧浓度电池类型
显示范围	0.001 ppm 至 100%
安装条件	安装地点：室内，非防爆区域。环境温度：控制器/转换器：0-40°C，　　　　　传感器单元：0-50°C。环境湿度：35-80%RH（无冷凝）。安装温度：控制器/转换器：0-40°C，　　　　　　传感器单元：0-100°C。不得含有易燃成分、卤素、二氧化硅或腐蚀性成分。

控制器规格

尺寸	92宽 x 44高 x 120深（毫米）
大量的	约0.6公斤
安装方法	使用M3螺钉进行面板安装
电源	电源：直流24V，0.3A
浓度显示	自动量程，4位数字显示（浓度显示），自动量程切换显示： 0-1/10/100/1000ppm/1/10/100%
通信输出规范	通信方式：单向，符合 RS-232C 标准，D-sub 9 针接口（针脚接触）传输速率：9,600/19,200/38,400 bps LAN 连接：可选
选项	LAN 输出（传输输出）

检测单元（转换器、传感器）规格

尺寸	转换器：100（宽）x 40（高）x 88（深）（单位：毫米，不含凸起部分）传感器：总长度 100（单位：毫米）
大量的	转换器：约 0.5 千克；传感器：约 0.3 千克
安装方法	转换器：用M3螺钉固定在平面上。传感器：ISO真空法兰连接。
联系	转换器和传感器之间的连接是通过专用电缆实现的；标准长度为 2 米，最大长度为 10 米。
热身时间	6分钟内
电源	电源：直流24V，2A；功耗：60VA（标准：15VA）
重复性	浓度范围 0-1% 及以上：±0.5% FS 或更低。浓度范围 0-1% 及以下：±1.0% FS 或 ±0.1 ppm，以较大者为准。 *浓度范围 0-1 ppm 及以下不予保证。
空中点稳定性	±1.0%FS 或更低/24 小时
样品条件	请勿在还原性气氛中使用。此外，如果被测气体的比热容较高，例如氦气浓度较高，则可能无法使用。温度：0 至 100°C ；压力：10⁻³ Pa至 200 kPa（绝对压力）；湿度：露点低于环境温度；流速：0.5 至 5 L/min 或 0 L/min（在自然扩散条件下测量）。

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