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更新时间：2026-09-10简要描述：TORAY东丽 氧浓度计 LD-600/SD这款采用 EtherCAT 通信的氧浓度计 LD-600/SD 传感器专为包括真空设备在内的各种设备而开发，它充分利用了我们在半导体和电子行业氧浓度计制造方面积累的丰富经验。该产品采用我们专有的紧凑型氧化锆传感器，可实现长时间稳定、高精度的测量，并内置氧传感器保护机制，使其耐用性远超传统产品。
TORAY东丽 氧浓度计 LD-600/SD
TORAY东丽 氧浓度计 LD-600/SD
这款采用 EtherCAT 通信的氧浓度计 LD-600/SD 传感器专为包括真空设备在内的各种设备而开发，它充分利用了我们在半导体和电子行业氧浓度计制造方面积累的丰富经验。该产品
采用我们专有的紧凑型氧化锆传感器，可实现长时间稳定、高精度的测量，并内置氧传感器保护机制，使其耐用性远超传统产品。
| 形状 | 分体式（转换器：固定式/壁挂式，传感器：直接插入式） | |
|---|---|---|
| 表示方式 | 无显示 | |
| 测量范围 | 精度范围：0.001 ppm 至 100%（10⁻²⁰至10⁻⁰ atm设置可选） 浮点输出，单位为 ppm | |
| 传感器连接 | ISO真空法兰NW16、25、40 或R3/8螺纹 | |
| 联系 | 转换器和传感器之间的连接是通过专用电缆实现的； 标准长度为 2 米，最大长度为 10 米。 | |
| 比较气体 | 气氛 | |
| 质量 | 转换器 | LD-600：约 0.8 公斤 |
| 传感器 | SD16NW：约0.2千克； SD25NW：约0.2千克； SD40NW：约0.35千克 | |
| 外部尺寸 | 转换器 | LD-600：65（宽）x 130（高）x 125（深） （单位：毫米，不含凸起部分） |
| 传感器 | SD16NW：总长度 100mm（感应部分 φ11×39，主体部分 φ40×51） SD25NW：总长度 100mm（感应部分 φ11×42，主体部分 φ40×48） SD40NW：总长度 100mm（感应部分 φ11×41，主体部分 φ40×49） （单位：mm，不含凸起部分） 注：每个检测部分的传感器单元将根据客户的具体要求，为 SD16NW/SD25NW/SD40NW 之一。 | |
| 缲返性 | 对于大于 0-1% 的量程：精度为 ±0.5%FS 或 更低。对于小于 0-1% 的量程：精度为 ±1.0%FS 或 ±0.1ppm，以较大者为准。 *小于 0-1ppm 的量程无法保证精度。 |
|---|---|
| 空中点稳定性 | ±1％FS以下／24hr |
| 热身时间 | 6分钟内 |
| 通信输出规范 | 通信方式：EtherCAT 接口（符合 ETG 5003.1、ETG 5003.2 标准） 协议：通用设备协议 协议：兼容 ETG 5003.1 CDP（CoE、FoE） |
|---|---|
| 样品气体条件 | 请勿在还原性气氛中使用。此外，如果被测气体的比热容较高，例如高浓度氦气 (He)，则可能无法使用。 规格：温度：0–100°C ；压力：10⁻³ Pa –200 kPa（绝对压力） ；湿度：露点低于环境温度； 流速：0.5–5 L/min 或 0 L/min（自然扩散条件下测量）。 |
| 热身时间 | 6分钟内 |
| 电源 | 电源：直流24V，3A； 功耗：80VA（稳定状态：30VA） |
| 設置条件 | 安装地点：室内，非防爆区域。 环境温度：转换器：0-40°C， 传感器：0-50°C。 环境湿度：35-80%RH（无冷凝）。 安装温度：转换器：0-40°C， 传感器：0-100°C。 不得含有易燃成分、卤素、二氧化硅或腐蚀性成分。 |
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