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简要描述:供应大亚真空DIAVAC 油扩散泵DPA系列 DPA-36R■节能型泵(内热式加热器)的功耗比以往减少了4成(DPF系列)■质量与以往相比为1/2,实现轻量紧凑化■采用可更换的内热式加热器■启动时间比以往产品(DPF系列)缩短1/2
供应大亚真空DIAVAC 油扩散泵DPA系列 DPA-36R
供应大亚真空DIAVAC 油扩散泵DPA系列 DPA-36R
特点
■节能型泵(内热式加热器)的功耗比以往减少了4成(DPF系列)
■质量与以往相比为1/2,实现轻量紧凑化
■采用可更换的内热式加热器
■启动时间比以往产品(DPF系列)缩短1/2
用途
■大型蒸镀装置、溅射装置等
■真空热处理炉、真空溶解炉、真空钎焊炉等
■各种真空排气装置
规格
型号 | DPA-18 |
---|---|
极限压力 (Pa) | < 3.0×10-5 |
标称抽速(L/sec), 无挡板 | 9000 |
有效排气速(L/sec), 无挡板 *注1 | 8000 |
有效排气速度(L/sec) 百叶窗挡板 *注1 | 4600 |
油逆流量(mg/cm2·min) 吸入压10-5~10-2Pa 百叶窗挡板 | ×10-5~×10-4 |
无负荷临界背压(Pa)*注2 | 59 |
功率要求(kw) 3φ 200V | 3.5 |
上升时间(min) | 30 |
用水需求(L/min) | 5 |
质量(kg),包括挡板 | 110 |
离地板的总高度(mm), 包括挡板 | 840 |
标准液压油(L) | 2.2 |
进气口法兰 | VG 450 |
排气口法兰 | VG 100 |
型号 | DPA-22 |
---|---|
极限压力 (Pa) | < 3.0×10-5 |
标称抽速(L/sec), 无挡板 | 13000 |
有效排气速(L/sec), 无挡板 *注1 | 12800 |
有效排气速度(L/sec) 百叶窗挡板 *注1 | 6900 |
油逆流量(mg/cm2·min) 吸入压10-5~10-2Pa 百叶窗挡板 | ×10-5~×10-4 |
无负荷临界背压(Pa)*注2 | 65 |
功率要求(kw) 3φ 200V | 5.4 |
上升时间(min) | 30 |
用水需求(L/min) | 7 |
质量(kg),包括挡板 | 167 |
离地板的总高度(mm), 包括挡板 | 960 |
标准液压油(L) | 3.0 |
进气口法兰 | VG 550 |
排气口法兰 | VG 150 |
型号 | DPA-24R |
---|---|
极限压力 (Pa) | < 2.0×10-5 |
标称抽速(L/sec), 无挡板 | 16000※注3 |
有效排气速(L/sec), 无挡板 *注1 | 13200 |
有效排气速度(L/sec) 百叶窗挡板 *注1 | 7900 |
油逆流量(mg/cm2·min) 吸入压10-5~10-2Pa 百叶窗挡板 | ×10-5~×10-4 |
无负荷临界背压(Pa)*注2 | 65 |
功率要求(kw) 3φ 200V | 6.6 |
上升时间(min) | 30 |
用水需求(L/min) | 10 |
质量(kg),包括挡板 | 210 |
离地板的总高度(mm), 包括挡板 | 1050 |
标准液压油(L) | 3.5 |
进气口法兰 | VG 600 |
排气口法兰 | VG 150 |
型号 | DPA-28R |
---|---|
极限压力 (Pa) | < 2.0×10-5 |
标称抽速(L/sec), 无挡板 | 20000※注3 |
有效排气速(L/sec), 无挡板 *注1 | 17700※注3 |
有效排气速度(L/sec) 百叶窗挡板 *注1 | 9800 |
油逆流量(mg/cm2·min) 吸入压10-5~10-2Pa 百叶窗挡板 | ×10-5~×10-4 |
无负荷临界背压(Pa)*注2 | 67 |
功率要求(kw) 3φ 200V | 8.0 |
上升时间(min) | 30 |
用水需求(L/min) | 上回路 3 或更多 下回路 9 或更多 |
质量(kg),包括挡板 | 250 |
离地板的总高度(mm), 包括挡板 | 1170 |
标准液压油(L) | 4.5 |
进气口法兰 | VG 700 |
排气口法兰 | VG 200 |
型号 | DPA-36R |
---|---|
极限压力 (Pa) | < 2.0×10-5 |
标称抽速(L/sec), 无挡板 | 37000※注3 |
有效排气速(L/sec), 无挡板 *注1 | 28200 *注3 |
有效排气速度(L/sec) 百叶窗挡板 *注1 | 17000 *注3 |
油逆流量(mg/cm2·min) 吸入压10-5~10-2Pa 百叶窗挡板 | ×10-5~×10-4 |
无负荷临界背压(Pa)*注2 | 61 |
功率要求(kw) 3φ 200V | 12.0 |
上升时间(min) | 40 |
用水需求(L/min) | 上回路5以上 下回路13以上 |
质量(kg),包括挡板 | 440 |
离地板的总高度(mm), 包括挡板 | 1520 |
标准液压油(L) | 8.0 |
进气口法兰 | VG 900 |
排气口法兰 | VG 200 |